金融界2024年8月14日消息，天眼查知識產(chǎn)權(quán)信息顯示，昆山禾信質(zhì)譜技術(shù)有限公司,廣州禾信儀器股份有限公司取得一項(xiàng)名為“二維離子束偏轉(zhuǎn)裝置“，授權(quán)公告號CN109767971B，申請日期為2019年3月。
專利摘要顯示，本發(fā)明提供一種二維離子束偏轉(zhuǎn)裝置，其包括：x 軸偏轉(zhuǎn)極板、透鏡極板組件、y 軸偏轉(zhuǎn)極板；所述 x 軸偏轉(zhuǎn)極板、透鏡極板組件、y 軸偏轉(zhuǎn)極板沿離子束傳輸方向依次設(shè)置，所述 x 軸偏轉(zhuǎn)極板和 y 軸偏轉(zhuǎn)極板上施加有偏轉(zhuǎn)電壓，所述透鏡極板組件接地設(shè)置，所述 x 軸偏轉(zhuǎn)極板和 y 軸偏轉(zhuǎn)極板的長度與間隙比大于等于 4。本發(fā)明通過在 x、y 軸偏轉(zhuǎn)板間增加接地的透鏡極板，增加偏轉(zhuǎn)裝置的長度的同時(shí)減小場效應(yīng)，通過施加合適的靜電場強(qiáng)度可以減小離子的橫向速度分散；并通過最大限度的提高偏轉(zhuǎn)器的長度與間隙比，以減少電場滲透，從而減小離子束的畸變和色散大的問題。
申報(bào)
