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李超波，男，中國科學(xué)院微電子研究所微電子學(xué)與固體電子學(xué)工學(xué)博士，現(xiàn)任職于中國科學(xué)院微電子研究所，微電子儀器設(shè)備研發(fā)中心副主任、研究員，中科院青聯(lián)委員，北京市生產(chǎn)力促進(jìn)中心特聘責(zé)任專家，其主要研究方向?yàn)樾略�理納米加工工藝與裝備、MEMS制造與傳感技術(shù)、智能裝備。